专利简介
本发明公开了一种基于化学机械抛光工艺的铟柱制备方法,该方法是在焦平面器件上光刻铟孔并蒸发铟膜,利用具有弱腐蚀性的化学抛光液,通过化学机械抛光工艺制备铟柱。该种方法制备的铟柱具有高度一致性好、平整度高和致密等优点,能满足大面阵焦平面器件倒装互连的要求。本发明方法操作简单,便于在工艺上实现。
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