专利简介
一种金刚石基薄膜片式电阻器元件的制备方法,属于电子元器件制造领域。采用CVD方式在原始载体上沉积金刚石膜,然后依次完成研磨、抛光、划片以及刻蚀处理工序;随后在图形化CVD金刚石膜表面构建薄膜电阻器,并通过热处理工艺实现薄膜电阻器的调阻;随后再在电阻器表面进行电极的制备;最后去除CVD金刚石膜的原始载体,获得尺寸及电阻率符合要求的金刚石基薄膜电阻元件。本发明元件基于金刚石为载体,具有化学性质稳定、导热率高等特点。在中间过程采用激光划片辅助等离子体刻蚀工艺,解决了CVD金刚石膜后续加工难度大、加工后产生导电碳膜等一系列问题,实现了较低成本的CVD金刚石膜基薄膜片式电阻器的批量化生产。降低相对成本的同时,保证了产品质量及生产效率。
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