服务流程：在光纤端面和硅敏感膜之间形成F-P腔，通过硅敏感膜感知压力变化，并把压力信号转化为硅敏感膜挠度变化值，通过激光检测硅敏感膜挠度并进行插值计算，最后输出压力值。光纤询问式MEMS压力传感器采用全光信号的传感头设计，使得该传感器同时具有了光纤传感器和 MEMS传感器的优点：体积小、重量轻、反应快、灵敏度高、成本低以及抗电磁干扰、保密性能好等。

服务成效：本产品在2006年9月至2006年12月在南京夜视丽精细化工有限责任公司进行应用。从应用结果看，该传感器能够在易燃易爆场合下进行压力的测量，具有精度高、重复性好等优点完全满足其生产的需要。