找到58项技术成果数据。
找技术 >一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明公开了一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法,该方法是:将装有ZrC微粉的石墨磨具放入等离子活化烧结炉的腔体中,在氩气气氛下以150~300℃/min的升温速率升温至1800~1900℃,保温4~6分钟,施加10~30MPa的轴向压力;然后试样随炉冷却至室温,获得所述ZrC陶瓷靶材。本发明中制备的ZrC陶瓷靶材物相单一、尺寸大,而且在不掺加任何烧结助剂的情况下依然有着较高的致密度(94%),应用前景十分广阔。
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:-
应用行业:采矿业
技术简介
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法,其特征在于:玫瑰金靶材的成分按重量百分比为:含金65~78WT%,铜16~33WT%,钇0.01~4WT%,锌1~7WT%,钴0.001~1.2WT%,锑0.001~0.2WT%,铟0.02~5WT%。制备方法为将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟加入到熔化的铜和钴中,在1400~1450℃的条件下精炼3MIN,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料;将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,在1200~1300℃的条件下精炼5MIN;获得玫瑰金靶材采用本发明的磁控溅射玫瑰金靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定,可达到极佳的装饰效果。
一种钒钼合金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1~90:10,所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与钼粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压制设备,操作方便,制备所得的靶材溅射性能优良,杂质少,适用于光学镀膜。
非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法,首先将圆晶片台与溅射靶材一、溅射靶材二的靶面偏心对准,打开真空室,把晶片放置于圆晶片台上;然后关闭真空室,按次序启动机械真空泵和低温真空泵,抽真空至10 -8 Torr;打开氩气流量计和氧气流量计,用气体调节真空室内部压强10 -2 -10 -3 Torr;启动旋转电机,使其以转速为200~500rpm工作;启动交流磁控溅射电源,设置其频率为10~50kHz,电压幅值为200~600V工作;持续工作溅射靶材一、二为10~20min,停止旋转电机,关闭交流磁控溅射电源;再次打开氩气流量计充入氩气Ar,控制真空室内的压强至1个大气压;打开真空室,取出晶片即能得到方块电阻在20~50kΩ/m 2 的薄膜。本发明能够在晶片上溅射生成均匀的、大面积薄膜。
金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种利用双阴极等离子溅射沉积法在金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法,其中溅射的靶材材料为Ti或Cr,双溅射沉积的具体工艺参数为:靶材电压800~1000V,电流2.3~6A,料盘电压300~350V,靶材与料盘间距10~20mm,料盘温度500~600℃,工作气压30~45Pa。制备得到的金刚石单颗粒强度和冲击强度得到提高,金刚石工具性能得到改善。
一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明属于新型铁基超导体领域,具体涉及一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法。首先将Fe、Se、Te粉末按一定的摩尔比混合研磨均匀;其次将研磨后的粉末在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理,再次研磨成粉,压制成所需靶材的大小后在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理;调整激光器参数,对得到的靶材进行预处理后,在衬底上进行一定时间的薄膜生长;在真空中自然降温后得到所需薄膜。本发明利用脉冲激光沉积镀膜技术进行铁硒碲超导薄膜的生长,具有使用方便、镀膜速度快、可制备不同成分薄膜、更容易保持靶材与衬底成分一致等优点。
铜铟镓硒靶材连续溅射制备CIGS太阳电池吸收层的新工艺
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明是新型低成本铜铟镓硒太阳电池吸收层的制备新工艺。使用不同组成的CIGS靶材进行连续溅射制备出CIGS太阳电池吸收层,通过溅射(In,Ga)Se或(In,Ga)2Se3靶材和多元共蒸发In、Se金属,调整CIGS太阳电池吸收层的组成,得到p+-CuGaSe2和p-Cu(In,Ga)Se2薄膜。该工艺能明显地降低CIGS太阳电池制造成本,还能提高CIGS太阳电池光电转换效率和CIGS太阳电池的良品率。本工艺具有低成本、高稳定性,能够制造出较高光电转换效率CIGS太阳电池,具有比较好的开发价值。
具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法高温烧制获得微米级粉体,加入纳米级粉体、碎颗粒、氢氧化物浆料中的一种或者多种混合,再加入粘接剂压制成型,高温烧结后得到蒸镀靶材。 本发明通过构建具有三维骨架网络的结构,实现对低密度蒸发材料的结构强化,所制备的氧化锌蒸镀材料具有较高的强度,抗热冲击性能好,彻底解决高能电子束轰击时开裂的问题。
AZO 3852长 旋转靶 量产生产技术
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
已实现工业化量产AZO 3852长度旋转靶材。1. 靶材密度5.4g/cm3。 2. 小尺寸样品密度5.5 g/cm3。 3. 小尺寸样品电导率小于0.0004Ωcm。 4. 每一节长度320mm。总投资约340万元(不包括流动资金),每月可生产靶材30条,售价约300万元,利润约为120万元。
旋转镀膜铌靶材研究
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
该项目针对旋转镀膜铌靶材制备过程中的技术问题,开展了关键生产工艺研究。通过独特的锻造工艺实现了≤80μm均匀晶粒,通过斜轧穿孔工艺实现了旋转镀膜铌靶材的成型,通过加工的整体工艺研究,尤其是自行设计单刀头6支撑的工装,使旋转镀膜铌靶材制品的精度完全满足图纸要求,满足了国际市场的需求。项目实施期间获得发明专利2项。
找到58项技术成果数据。
找技术 >一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明公开了一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法,该方法是:将装有ZrC微粉的石墨磨具放入等离子活化烧结炉的腔体中,在氩气气氛下以150~300℃/min的升温速率升温至1800~1900℃,保温4~6分钟,施加10~30MPa的轴向压力;然后试样随炉冷却至室温,获得所述ZrC陶瓷靶材。本发明中制备的ZrC陶瓷靶材物相单一、尺寸大,而且在不掺加任何烧结助剂的情况下依然有着较高的致密度(94%),应用前景十分广阔。
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:-
应用行业:采矿业
技术简介
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法,其特征在于:玫瑰金靶材的成分按重量百分比为:含金65~78WT%,铜16~33WT%,钇0.01~4WT%,锌1~7WT%,钴0.001~1.2WT%,锑0.001~0.2WT%,铟0.02~5WT%。制备方法为将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟加入到熔化的铜和钴中,在1400~1450℃的条件下精炼3MIN,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料;将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,在1200~1300℃的条件下精炼5MIN;获得玫瑰金靶材采用本发明的磁控溅射玫瑰金靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定,可达到极佳的装饰效果。
一种钒钼合金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1~90:10,所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与钼粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压制设备,操作方便,制备所得的靶材溅射性能优良,杂质少,适用于光学镀膜。
非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法,首先将圆晶片台与溅射靶材一、溅射靶材二的靶面偏心对准,打开真空室,把晶片放置于圆晶片台上;然后关闭真空室,按次序启动机械真空泵和低温真空泵,抽真空至10 -8 Torr;打开氩气流量计和氧气流量计,用气体调节真空室内部压强10 -2 -10 -3 Torr;启动旋转电机,使其以转速为200~500rpm工作;启动交流磁控溅射电源,设置其频率为10~50kHz,电压幅值为200~600V工作;持续工作溅射靶材一、二为10~20min,停止旋转电机,关闭交流磁控溅射电源;再次打开氩气流量计充入氩气Ar,控制真空室内的压强至1个大气压;打开真空室,取出晶片即能得到方块电阻在20~50kΩ/m 2 的薄膜。本发明能够在晶片上溅射生成均匀的、大面积薄膜。
金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种利用双阴极等离子溅射沉积法在金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法,其中溅射的靶材材料为Ti或Cr,双溅射沉积的具体工艺参数为:靶材电压800~1000V,电流2.3~6A,料盘电压300~350V,靶材与料盘间距10~20mm,料盘温度500~600℃,工作气压30~45Pa。制备得到的金刚石单颗粒强度和冲击强度得到提高,金刚石工具性能得到改善。
一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明属于新型铁基超导体领域,具体涉及一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法。首先将Fe、Se、Te粉末按一定的摩尔比混合研磨均匀;其次将研磨后的粉末在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理,再次研磨成粉,压制成所需靶材的大小后在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理;调整激光器参数,对得到的靶材进行预处理后,在衬底上进行一定时间的薄膜生长;在真空中自然降温后得到所需薄膜。本发明利用脉冲激光沉积镀膜技术进行铁硒碲超导薄膜的生长,具有使用方便、镀膜速度快、可制备不同成分薄膜、更容易保持靶材与衬底成分一致等优点。
铜铟镓硒靶材连续溅射制备CIGS太阳电池吸收层的新工艺
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明是新型低成本铜铟镓硒太阳电池吸收层的制备新工艺。使用不同组成的CIGS靶材进行连续溅射制备出CIGS太阳电池吸收层,通过溅射(In,Ga)Se或(In,Ga)2Se3靶材和多元共蒸发In、Se金属,调整CIGS太阳电池吸收层的组成,得到p+-CuGaSe2和p-Cu(In,Ga)Se2薄膜。该工艺能明显地降低CIGS太阳电池制造成本,还能提高CIGS太阳电池光电转换效率和CIGS太阳电池的良品率。本工艺具有低成本、高稳定性,能够制造出较高光电转换效率CIGS太阳电池,具有比较好的开发价值。
具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法高温烧制获得微米级粉体,加入纳米级粉体、碎颗粒、氢氧化物浆料中的一种或者多种混合,再加入粘接剂压制成型,高温烧结后得到蒸镀靶材。 本发明通过构建具有三维骨架网络的结构,实现对低密度蒸发材料的结构强化,所制备的氧化锌蒸镀材料具有较高的强度,抗热冲击性能好,彻底解决高能电子束轰击时开裂的问题。
AZO 3852长 旋转靶 量产生产技术
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
已实现工业化量产AZO 3852长度旋转靶材。1. 靶材密度5.4g/cm3。 2. 小尺寸样品密度5.5 g/cm3。 3. 小尺寸样品电导率小于0.0004Ωcm。 4. 每一节长度320mm。总投资约340万元(不包括流动资金),每月可生产靶材30条,售价约300万元,利润约为120万元。
旋转镀膜铌靶材研究
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
该项目针对旋转镀膜铌靶材制备过程中的技术问题,开展了关键生产工艺研究。通过独特的锻造工艺实现了≤80μm均匀晶粒,通过斜轧穿孔工艺实现了旋转镀膜铌靶材的成型,通过加工的整体工艺研究,尤其是自行设计单刀头6支撑的工装,使旋转镀膜铌靶材制品的精度完全满足图纸要求,满足了国际市场的需求。项目实施期间获得发明专利2项。
找到58项技术成果数据。
找技术 >一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明公开了一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法,该方法是:将装有ZrC微粉的石墨磨具放入等离子活化烧结炉的腔体中,在氩气气氛下以150~300℃/min的升温速率升温至1800~1900℃,保温4~6分钟,施加10~30MPa的轴向压力;然后试样随炉冷却至室温,获得所述ZrC陶瓷靶材。本发明中制备的ZrC陶瓷靶材物相单一、尺寸大,而且在不掺加任何烧结助剂的情况下依然有着较高的致密度(94%),应用前景十分广阔。
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:-
应用行业:采矿业
技术简介
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法,其特征在于:玫瑰金靶材的成分按重量百分比为:含金65~78WT%,铜16~33WT%,钇0.01~4WT%,锌1~7WT%,钴0.001~1.2WT%,锑0.001~0.2WT%,铟0.02~5WT%。制备方法为将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟加入到熔化的铜和钴中,在1400~1450℃的条件下精炼3MIN,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料;将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,在1200~1300℃的条件下精炼5MIN;获得玫瑰金靶材采用本发明的磁控溅射玫瑰金靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定,可达到极佳的装饰效果。
一种钒钼合金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1~90:10,所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与钼粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压制设备,操作方便,制备所得的靶材溅射性能优良,杂质少,适用于光学镀膜。
非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法,首先将圆晶片台与溅射靶材一、溅射靶材二的靶面偏心对准,打开真空室,把晶片放置于圆晶片台上;然后关闭真空室,按次序启动机械真空泵和低温真空泵,抽真空至10 -8 Torr;打开氩气流量计和氧气流量计,用气体调节真空室内部压强10 -2 -10 -3 Torr;启动旋转电机,使其以转速为200~500rpm工作;启动交流磁控溅射电源,设置其频率为10~50kHz,电压幅值为200~600V工作;持续工作溅射靶材一、二为10~20min,停止旋转电机,关闭交流磁控溅射电源;再次打开氩气流量计充入氩气Ar,控制真空室内的压强至1个大气压;打开真空室,取出晶片即能得到方块电阻在20~50kΩ/m 2 的薄膜。本发明能够在晶片上溅射生成均匀的、大面积薄膜。
金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种利用双阴极等离子溅射沉积法在金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法,其中溅射的靶材材料为Ti或Cr,双溅射沉积的具体工艺参数为:靶材电压800~1000V,电流2.3~6A,料盘电压300~350V,靶材与料盘间距10~20mm,料盘温度500~600℃,工作气压30~45Pa。制备得到的金刚石单颗粒强度和冲击强度得到提高,金刚石工具性能得到改善。
一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明属于新型铁基超导体领域,具体涉及一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法。首先将Fe、Se、Te粉末按一定的摩尔比混合研磨均匀;其次将研磨后的粉末在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理,再次研磨成粉,压制成所需靶材的大小后在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理;调整激光器参数,对得到的靶材进行预处理后,在衬底上进行一定时间的薄膜生长;在真空中自然降温后得到所需薄膜。本发明利用脉冲激光沉积镀膜技术进行铁硒碲超导薄膜的生长,具有使用方便、镀膜速度快、可制备不同成分薄膜、更容易保持靶材与衬底成分一致等优点。
铜铟镓硒靶材连续溅射制备CIGS太阳电池吸收层的新工艺
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明是新型低成本铜铟镓硒太阳电池吸收层的制备新工艺。使用不同组成的CIGS靶材进行连续溅射制备出CIGS太阳电池吸收层,通过溅射(In,Ga)Se或(In,Ga)2Se3靶材和多元共蒸发In、Se金属,调整CIGS太阳电池吸收层的组成,得到p+-CuGaSe2和p-Cu(In,Ga)Se2薄膜。该工艺能明显地降低CIGS太阳电池制造成本,还能提高CIGS太阳电池光电转换效率和CIGS太阳电池的良品率。本工艺具有低成本、高稳定性,能够制造出较高光电转换效率CIGS太阳电池,具有比较好的开发价值。
具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法高温烧制获得微米级粉体,加入纳米级粉体、碎颗粒、氢氧化物浆料中的一种或者多种混合,再加入粘接剂压制成型,高温烧结后得到蒸镀靶材。 本发明通过构建具有三维骨架网络的结构,实现对低密度蒸发材料的结构强化,所制备的氧化锌蒸镀材料具有较高的强度,抗热冲击性能好,彻底解决高能电子束轰击时开裂的问题。
AZO 3852长 旋转靶 量产生产技术
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
已实现工业化量产AZO 3852长度旋转靶材。1. 靶材密度5.4g/cm3。 2. 小尺寸样品密度5.5 g/cm3。 3. 小尺寸样品电导率小于0.0004Ωcm。 4. 每一节长度320mm。总投资约340万元(不包括流动资金),每月可生产靶材30条,售价约300万元,利润约为120万元。
旋转镀膜铌靶材研究
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
该项目针对旋转镀膜铌靶材制备过程中的技术问题,开展了关键生产工艺研究。通过独特的锻造工艺实现了≤80μm均匀晶粒,通过斜轧穿孔工艺实现了旋转镀膜铌靶材的成型,通过加工的整体工艺研究,尤其是自行设计单刀头6支撑的工装,使旋转镀膜铌靶材制品的精度完全满足图纸要求,满足了国际市场的需求。项目实施期间获得发明专利2项。
找到58项技术成果数据。
找技术 >一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明公开了一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法,该方法是:将装有ZrC微粉的石墨磨具放入等离子活化烧结炉的腔体中,在氩气气氛下以150~300℃/min的升温速率升温至1800~1900℃,保温4~6分钟,施加10~30MPa的轴向压力;然后试样随炉冷却至室温,获得所述ZrC陶瓷靶材。本发明中制备的ZrC陶瓷靶材物相单一、尺寸大,而且在不掺加任何烧结助剂的情况下依然有着较高的致密度(94%),应用前景十分广阔。
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:-
应用行业:采矿业
技术简介
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法,其特征在于:玫瑰金靶材的成分按重量百分比为:含金65~78WT%,铜16~33WT%,钇0.01~4WT%,锌1~7WT%,钴0.001~1.2WT%,锑0.001~0.2WT%,铟0.02~5WT%。制备方法为将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟加入到熔化的铜和钴中,在1400~1450℃的条件下精炼3MIN,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料;将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,在1200~1300℃的条件下精炼5MIN;获得玫瑰金靶材采用本发明的磁控溅射玫瑰金靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定,可达到极佳的装饰效果。
一种钒钼合金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1~90:10,所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与钼粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压制设备,操作方便,制备所得的靶材溅射性能优良,杂质少,适用于光学镀膜。
非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法,首先将圆晶片台与溅射靶材一、溅射靶材二的靶面偏心对准,打开真空室,把晶片放置于圆晶片台上;然后关闭真空室,按次序启动机械真空泵和低温真空泵,抽真空至10 -8 Torr;打开氩气流量计和氧气流量计,用气体调节真空室内部压强10 -2 -10 -3 Torr;启动旋转电机,使其以转速为200~500rpm工作;启动交流磁控溅射电源,设置其频率为10~50kHz,电压幅值为200~600V工作;持续工作溅射靶材一、二为10~20min,停止旋转电机,关闭交流磁控溅射电源;再次打开氩气流量计充入氩气Ar,控制真空室内的压强至1个大气压;打开真空室,取出晶片即能得到方块电阻在20~50kΩ/m 2 的薄膜。本发明能够在晶片上溅射生成均匀的、大面积薄膜。
金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种利用双阴极等离子溅射沉积法在金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法,其中溅射的靶材材料为Ti或Cr,双溅射沉积的具体工艺参数为:靶材电压800~1000V,电流2.3~6A,料盘电压300~350V,靶材与料盘间距10~20mm,料盘温度500~600℃,工作气压30~45Pa。制备得到的金刚石单颗粒强度和冲击强度得到提高,金刚石工具性能得到改善。
一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明属于新型铁基超导体领域,具体涉及一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法。首先将Fe、Se、Te粉末按一定的摩尔比混合研磨均匀;其次将研磨后的粉末在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理,再次研磨成粉,压制成所需靶材的大小后在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理;调整激光器参数,对得到的靶材进行预处理后,在衬底上进行一定时间的薄膜生长;在真空中自然降温后得到所需薄膜。本发明利用脉冲激光沉积镀膜技术进行铁硒碲超导薄膜的生长,具有使用方便、镀膜速度快、可制备不同成分薄膜、更容易保持靶材与衬底成分一致等优点。
铜铟镓硒靶材连续溅射制备CIGS太阳电池吸收层的新工艺
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明是新型低成本铜铟镓硒太阳电池吸收层的制备新工艺。使用不同组成的CIGS靶材进行连续溅射制备出CIGS太阳电池吸收层,通过溅射(In,Ga)Se或(In,Ga)2Se3靶材和多元共蒸发In、Se金属,调整CIGS太阳电池吸收层的组成,得到p+-CuGaSe2和p-Cu(In,Ga)Se2薄膜。该工艺能明显地降低CIGS太阳电池制造成本,还能提高CIGS太阳电池光电转换效率和CIGS太阳电池的良品率。本工艺具有低成本、高稳定性,能够制造出较高光电转换效率CIGS太阳电池,具有比较好的开发价值。
具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法高温烧制获得微米级粉体,加入纳米级粉体、碎颗粒、氢氧化物浆料中的一种或者多种混合,再加入粘接剂压制成型,高温烧结后得到蒸镀靶材。 本发明通过构建具有三维骨架网络的结构,实现对低密度蒸发材料的结构强化,所制备的氧化锌蒸镀材料具有较高的强度,抗热冲击性能好,彻底解决高能电子束轰击时开裂的问题。
AZO 3852长 旋转靶 量产生产技术
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
已实现工业化量产AZO 3852长度旋转靶材。1. 靶材密度5.4g/cm3。 2. 小尺寸样品密度5.5 g/cm3。 3. 小尺寸样品电导率小于0.0004Ωcm。 4. 每一节长度320mm。总投资约340万元(不包括流动资金),每月可生产靶材30条,售价约300万元,利润约为120万元。
旋转镀膜铌靶材研究
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
该项目针对旋转镀膜铌靶材制备过程中的技术问题,开展了关键生产工艺研究。通过独特的锻造工艺实现了≤80μm均匀晶粒,通过斜轧穿孔工艺实现了旋转镀膜铌靶材的成型,通过加工的整体工艺研究,尤其是自行设计单刀头6支撑的工装,使旋转镀膜铌靶材制品的精度完全满足图纸要求,满足了国际市场的需求。项目实施期间获得发明专利2项。
找到58项技术成果数据。
找技术 >一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明公开了一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法,该方法是:将装有ZrC微粉的石墨磨具放入等离子活化烧结炉的腔体中,在氩气气氛下以150~300℃/min的升温速率升温至1800~1900℃,保温4~6分钟,施加10~30MPa的轴向压力;然后试样随炉冷却至室温,获得所述ZrC陶瓷靶材。本发明中制备的ZrC陶瓷靶材物相单一、尺寸大,而且在不掺加任何烧结助剂的情况下依然有着较高的致密度(94%),应用前景十分广阔。
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:-
应用行业:采矿业
技术简介
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法,其特征在于:玫瑰金靶材的成分按重量百分比为:含金65~78WT%,铜16~33WT%,钇0.01~4WT%,锌1~7WT%,钴0.001~1.2WT%,锑0.001~0.2WT%,铟0.02~5WT%。制备方法为将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟加入到熔化的铜和钴中,在1400~1450℃的条件下精炼3MIN,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料;将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,在1200~1300℃的条件下精炼5MIN;获得玫瑰金靶材采用本发明的磁控溅射玫瑰金靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定,可达到极佳的装饰效果。
一种钒钼合金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1~90:10,所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与钼粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压制设备,操作方便,制备所得的靶材溅射性能优良,杂质少,适用于光学镀膜。
非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法,首先将圆晶片台与溅射靶材一、溅射靶材二的靶面偏心对准,打开真空室,把晶片放置于圆晶片台上;然后关闭真空室,按次序启动机械真空泵和低温真空泵,抽真空至10 -8 Torr;打开氩气流量计和氧气流量计,用气体调节真空室内部压强10 -2 -10 -3 Torr;启动旋转电机,使其以转速为200~500rpm工作;启动交流磁控溅射电源,设置其频率为10~50kHz,电压幅值为200~600V工作;持续工作溅射靶材一、二为10~20min,停止旋转电机,关闭交流磁控溅射电源;再次打开氩气流量计充入氩气Ar,控制真空室内的压强至1个大气压;打开真空室,取出晶片即能得到方块电阻在20~50kΩ/m 2 的薄膜。本发明能够在晶片上溅射生成均匀的、大面积薄膜。
金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种利用双阴极等离子溅射沉积法在金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法,其中溅射的靶材材料为Ti或Cr,双溅射沉积的具体工艺参数为:靶材电压800~1000V,电流2.3~6A,料盘电压300~350V,靶材与料盘间距10~20mm,料盘温度500~600℃,工作气压30~45Pa。制备得到的金刚石单颗粒强度和冲击强度得到提高,金刚石工具性能得到改善。
一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明属于新型铁基超导体领域,具体涉及一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法。首先将Fe、Se、Te粉末按一定的摩尔比混合研磨均匀;其次将研磨后的粉末在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理,再次研磨成粉,压制成所需靶材的大小后在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理;调整激光器参数,对得到的靶材进行预处理后,在衬底上进行一定时间的薄膜生长;在真空中自然降温后得到所需薄膜。本发明利用脉冲激光沉积镀膜技术进行铁硒碲超导薄膜的生长,具有使用方便、镀膜速度快、可制备不同成分薄膜、更容易保持靶材与衬底成分一致等优点。
铜铟镓硒靶材连续溅射制备CIGS太阳电池吸收层的新工艺
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明是新型低成本铜铟镓硒太阳电池吸收层的制备新工艺。使用不同组成的CIGS靶材进行连续溅射制备出CIGS太阳电池吸收层,通过溅射(In,Ga)Se或(In,Ga)2Se3靶材和多元共蒸发In、Se金属,调整CIGS太阳电池吸收层的组成,得到p+-CuGaSe2和p-Cu(In,Ga)Se2薄膜。该工艺能明显地降低CIGS太阳电池制造成本,还能提高CIGS太阳电池光电转换效率和CIGS太阳电池的良品率。本工艺具有低成本、高稳定性,能够制造出较高光电转换效率CIGS太阳电池,具有比较好的开发价值。
具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法高温烧制获得微米级粉体,加入纳米级粉体、碎颗粒、氢氧化物浆料中的一种或者多种混合,再加入粘接剂压制成型,高温烧结后得到蒸镀靶材。 本发明通过构建具有三维骨架网络的结构,实现对低密度蒸发材料的结构强化,所制备的氧化锌蒸镀材料具有较高的强度,抗热冲击性能好,彻底解决高能电子束轰击时开裂的问题。
AZO 3852长 旋转靶 量产生产技术
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
已实现工业化量产AZO 3852长度旋转靶材。1. 靶材密度5.4g/cm3。 2. 小尺寸样品密度5.5 g/cm3。 3. 小尺寸样品电导率小于0.0004Ωcm。 4. 每一节长度320mm。总投资约340万元(不包括流动资金),每月可生产靶材30条,售价约300万元,利润约为120万元。
旋转镀膜铌靶材研究
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
该项目针对旋转镀膜铌靶材制备过程中的技术问题,开展了关键生产工艺研究。通过独特的锻造工艺实现了≤80μm均匀晶粒,通过斜轧穿孔工艺实现了旋转镀膜铌靶材的成型,通过加工的整体工艺研究,尤其是自行设计单刀头6支撑的工装,使旋转镀膜铌靶材制品的精度完全满足图纸要求,满足了国际市场的需求。项目实施期间获得发明专利2项。
找到58项技术成果数据。
找技术 >一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明公开了一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法,该方法是:将装有ZrC微粉的石墨磨具放入等离子活化烧结炉的腔体中,在氩气气氛下以150~300℃/min的升温速率升温至1800~1900℃,保温4~6分钟,施加10~30MPa的轴向压力;然后试样随炉冷却至室温,获得所述ZrC陶瓷靶材。本发明中制备的ZrC陶瓷靶材物相单一、尺寸大,而且在不掺加任何烧结助剂的情况下依然有着较高的致密度(94%),应用前景十分广阔。
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:-
应用行业:采矿业
技术简介
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法,其特征在于:玫瑰金靶材的成分按重量百分比为:含金65~78WT%,铜16~33WT%,钇0.01~4WT%,锌1~7WT%,钴0.001~1.2WT%,锑0.001~0.2WT%,铟0.02~5WT%。制备方法为将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟加入到熔化的铜和钴中,在1400~1450℃的条件下精炼3MIN,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料;将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,在1200~1300℃的条件下精炼5MIN;获得玫瑰金靶材采用本发明的磁控溅射玫瑰金靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定,可达到极佳的装饰效果。
一种钒钼合金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1~90:10,所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与钼粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压制设备,操作方便,制备所得的靶材溅射性能优良,杂质少,适用于光学镀膜。
非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法,首先将圆晶片台与溅射靶材一、溅射靶材二的靶面偏心对准,打开真空室,把晶片放置于圆晶片台上;然后关闭真空室,按次序启动机械真空泵和低温真空泵,抽真空至10 -8 Torr;打开氩气流量计和氧气流量计,用气体调节真空室内部压强10 -2 -10 -3 Torr;启动旋转电机,使其以转速为200~500rpm工作;启动交流磁控溅射电源,设置其频率为10~50kHz,电压幅值为200~600V工作;持续工作溅射靶材一、二为10~20min,停止旋转电机,关闭交流磁控溅射电源;再次打开氩气流量计充入氩气Ar,控制真空室内的压强至1个大气压;打开真空室,取出晶片即能得到方块电阻在20~50kΩ/m 2 的薄膜。本发明能够在晶片上溅射生成均匀的、大面积薄膜。
金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种利用双阴极等离子溅射沉积法在金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法,其中溅射的靶材材料为Ti或Cr,双溅射沉积的具体工艺参数为:靶材电压800~1000V,电流2.3~6A,料盘电压300~350V,靶材与料盘间距10~20mm,料盘温度500~600℃,工作气压30~45Pa。制备得到的金刚石单颗粒强度和冲击强度得到提高,金刚石工具性能得到改善。
一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明属于新型铁基超导体领域,具体涉及一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法。首先将Fe、Se、Te粉末按一定的摩尔比混合研磨均匀;其次将研磨后的粉末在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理,再次研磨成粉,压制成所需靶材的大小后在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理;调整激光器参数,对得到的靶材进行预处理后,在衬底上进行一定时间的薄膜生长;在真空中自然降温后得到所需薄膜。本发明利用脉冲激光沉积镀膜技术进行铁硒碲超导薄膜的生长,具有使用方便、镀膜速度快、可制备不同成分薄膜、更容易保持靶材与衬底成分一致等优点。
铜铟镓硒靶材连续溅射制备CIGS太阳电池吸收层的新工艺
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明是新型低成本铜铟镓硒太阳电池吸收层的制备新工艺。使用不同组成的CIGS靶材进行连续溅射制备出CIGS太阳电池吸收层,通过溅射(In,Ga)Se或(In,Ga)2Se3靶材和多元共蒸发In、Se金属,调整CIGS太阳电池吸收层的组成,得到p+-CuGaSe2和p-Cu(In,Ga)Se2薄膜。该工艺能明显地降低CIGS太阳电池制造成本,还能提高CIGS太阳电池光电转换效率和CIGS太阳电池的良品率。本工艺具有低成本、高稳定性,能够制造出较高光电转换效率CIGS太阳电池,具有比较好的开发价值。
具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法高温烧制获得微米级粉体,加入纳米级粉体、碎颗粒、氢氧化物浆料中的一种或者多种混合,再加入粘接剂压制成型,高温烧结后得到蒸镀靶材。 本发明通过构建具有三维骨架网络的结构,实现对低密度蒸发材料的结构强化,所制备的氧化锌蒸镀材料具有较高的强度,抗热冲击性能好,彻底解决高能电子束轰击时开裂的问题。
AZO 3852长 旋转靶 量产生产技术
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
已实现工业化量产AZO 3852长度旋转靶材。1. 靶材密度5.4g/cm3。 2. 小尺寸样品密度5.5 g/cm3。 3. 小尺寸样品电导率小于0.0004Ωcm。 4. 每一节长度320mm。总投资约340万元(不包括流动资金),每月可生产靶材30条,售价约300万元,利润约为120万元。
旋转镀膜铌靶材研究
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
该项目针对旋转镀膜铌靶材制备过程中的技术问题,开展了关键生产工艺研究。通过独特的锻造工艺实现了≤80μm均匀晶粒,通过斜轧穿孔工艺实现了旋转镀膜铌靶材的成型,通过加工的整体工艺研究,尤其是自行设计单刀头6支撑的工装,使旋转镀膜铌靶材制品的精度完全满足图纸要求,满足了国际市场的需求。项目实施期间获得发明专利2项。
找到58项技术成果数据。
找技术 >一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明公开了一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法,该方法是:将装有ZrC微粉的石墨磨具放入等离子活化烧结炉的腔体中,在氩气气氛下以150~300℃/min的升温速率升温至1800~1900℃,保温4~6分钟,施加10~30MPa的轴向压力;然后试样随炉冷却至室温,获得所述ZrC陶瓷靶材。本发明中制备的ZrC陶瓷靶材物相单一、尺寸大,而且在不掺加任何烧结助剂的情况下依然有着较高的致密度(94%),应用前景十分广阔。
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:-
应用行业:采矿业
技术简介
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法,其特征在于:玫瑰金靶材的成分按重量百分比为:含金65~78WT%,铜16~33WT%,钇0.01~4WT%,锌1~7WT%,钴0.001~1.2WT%,锑0.001~0.2WT%,铟0.02~5WT%。制备方法为将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟加入到熔化的铜和钴中,在1400~1450℃的条件下精炼3MIN,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料;将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,在1200~1300℃的条件下精炼5MIN;获得玫瑰金靶材采用本发明的磁控溅射玫瑰金靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定,可达到极佳的装饰效果。
一种钒钼合金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1~90:10,所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与钼粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压制设备,操作方便,制备所得的靶材溅射性能优良,杂质少,适用于光学镀膜。
非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法,首先将圆晶片台与溅射靶材一、溅射靶材二的靶面偏心对准,打开真空室,把晶片放置于圆晶片台上;然后关闭真空室,按次序启动机械真空泵和低温真空泵,抽真空至10 -8 Torr;打开氩气流量计和氧气流量计,用气体调节真空室内部压强10 -2 -10 -3 Torr;启动旋转电机,使其以转速为200~500rpm工作;启动交流磁控溅射电源,设置其频率为10~50kHz,电压幅值为200~600V工作;持续工作溅射靶材一、二为10~20min,停止旋转电机,关闭交流磁控溅射电源;再次打开氩气流量计充入氩气Ar,控制真空室内的压强至1个大气压;打开真空室,取出晶片即能得到方块电阻在20~50kΩ/m 2 的薄膜。本发明能够在晶片上溅射生成均匀的、大面积薄膜。
金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种利用双阴极等离子溅射沉积法在金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法,其中溅射的靶材材料为Ti或Cr,双溅射沉积的具体工艺参数为:靶材电压800~1000V,电流2.3~6A,料盘电压300~350V,靶材与料盘间距10~20mm,料盘温度500~600℃,工作气压30~45Pa。制备得到的金刚石单颗粒强度和冲击强度得到提高,金刚石工具性能得到改善。
一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明属于新型铁基超导体领域,具体涉及一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法。首先将Fe、Se、Te粉末按一定的摩尔比混合研磨均匀;其次将研磨后的粉末在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理,再次研磨成粉,压制成所需靶材的大小后在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理;调整激光器参数,对得到的靶材进行预处理后,在衬底上进行一定时间的薄膜生长;在真空中自然降温后得到所需薄膜。本发明利用脉冲激光沉积镀膜技术进行铁硒碲超导薄膜的生长,具有使用方便、镀膜速度快、可制备不同成分薄膜、更容易保持靶材与衬底成分一致等优点。
铜铟镓硒靶材连续溅射制备CIGS太阳电池吸收层的新工艺
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明是新型低成本铜铟镓硒太阳电池吸收层的制备新工艺。使用不同组成的CIGS靶材进行连续溅射制备出CIGS太阳电池吸收层,通过溅射(In,Ga)Se或(In,Ga)2Se3靶材和多元共蒸发In、Se金属,调整CIGS太阳电池吸收层的组成,得到p+-CuGaSe2和p-Cu(In,Ga)Se2薄膜。该工艺能明显地降低CIGS太阳电池制造成本,还能提高CIGS太阳电池光电转换效率和CIGS太阳电池的良品率。本工艺具有低成本、高稳定性,能够制造出较高光电转换效率CIGS太阳电池,具有比较好的开发价值。
具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法高温烧制获得微米级粉体,加入纳米级粉体、碎颗粒、氢氧化物浆料中的一种或者多种混合,再加入粘接剂压制成型,高温烧结后得到蒸镀靶材。 本发明通过构建具有三维骨架网络的结构,实现对低密度蒸发材料的结构强化,所制备的氧化锌蒸镀材料具有较高的强度,抗热冲击性能好,彻底解决高能电子束轰击时开裂的问题。
AZO 3852长 旋转靶 量产生产技术
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
已实现工业化量产AZO 3852长度旋转靶材。1. 靶材密度5.4g/cm3。 2. 小尺寸样品密度5.5 g/cm3。 3. 小尺寸样品电导率小于0.0004Ωcm。 4. 每一节长度320mm。总投资约340万元(不包括流动资金),每月可生产靶材30条,售价约300万元,利润约为120万元。
旋转镀膜铌靶材研究
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
该项目针对旋转镀膜铌靶材制备过程中的技术问题,开展了关键生产工艺研究。通过独特的锻造工艺实现了≤80μm均匀晶粒,通过斜轧穿孔工艺实现了旋转镀膜铌靶材的成型,通过加工的整体工艺研究,尤其是自行设计单刀头6支撑的工装,使旋转镀膜铌靶材制品的精度完全满足图纸要求,满足了国际市场的需求。项目实施期间获得发明专利2项。
找到58项技术成果数据。
找技术 >一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明公开了一种高致密ZrC陶瓷靶材的制备方法,该方法是:将装有ZrC微粉的石墨磨具放入等离子活化烧结炉的腔体中,在氩气气氛下以150~300℃/min的升温速率升温至1800~1900℃,保温4~6分钟,施加10~30MPa的轴向压力;然后试样随炉冷却至室温,获得所述ZrC陶瓷靶材。本发明中制备的ZrC陶瓷靶材物相单一、尺寸大,而且在不掺加任何烧结助剂的情况下依然有着较高的致密度(94%),应用前景十分广阔。
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:-
应用行业:采矿业
技术简介
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法,其特征在于:玫瑰金靶材的成分按重量百分比为:含金65~78WT%,铜16~33WT%,钇0.01~4WT%,锌1~7WT%,钴0.001~1.2WT%,锑0.001~0.2WT%,铟0.02~5WT%。制备方法为将铜和钴加热熔化,再将钇、锌、锑和铟加入到熔化的铜和钴中,在1400~1450℃的条件下精炼3MIN,经过常规的铣面、轧制和剪切操作,获得中间合金材料;将金加热熔化,再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中,在1200~1300℃的条件下精炼5MIN;获得玫瑰金靶材采用本发明的磁控溅射玫瑰金靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定,可达到极佳的装饰效果。
一种钒钼合金靶材及其制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1~90:10,所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与钼粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压制设备,操作方便,制备所得的靶材溅射性能优良,杂质少,适用于光学镀膜。
非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列用氧化钒薄膜材料的制备方法,首先将圆晶片台与溅射靶材一、溅射靶材二的靶面偏心对准,打开真空室,把晶片放置于圆晶片台上;然后关闭真空室,按次序启动机械真空泵和低温真空泵,抽真空至10 -8 Torr;打开氩气流量计和氧气流量计,用气体调节真空室内部压强10 -2 -10 -3 Torr;启动旋转电机,使其以转速为200~500rpm工作;启动交流磁控溅射电源,设置其频率为10~50kHz,电压幅值为200~600V工作;持续工作溅射靶材一、二为10~20min,停止旋转电机,关闭交流磁控溅射电源;再次打开氩气流量计充入氩气Ar,控制真空室内的压强至1个大气压;打开真空室,取出晶片即能得到方块电阻在20~50kΩ/m 2 的薄膜。本发明能够在晶片上溅射生成均匀的、大面积薄膜。
金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明提供了一种利用双阴极等离子溅射沉积法在金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法,其中溅射的靶材材料为Ti或Cr,双溅射沉积的具体工艺参数为:靶材电压800~1000V,电流2.3~6A,料盘电压300~350V,靶材与料盘间距10~20mm,料盘温度500~600℃,工作气压30~45Pa。制备得到的金刚石单颗粒强度和冲击强度得到提高,金刚石工具性能得到改善。
一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明属于新型铁基超导体领域,具体涉及一种利用脉冲激光沉积镀膜技术制备铁硒碲薄膜的方法。首先将Fe、Se、Te粉末按一定的摩尔比混合研磨均匀;其次将研磨后的粉末在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理,再次研磨成粉,压制成所需靶材的大小后在真空石英管中700℃烧结24小时,400℃时进行淬火处理;调整激光器参数,对得到的靶材进行预处理后,在衬底上进行一定时间的薄膜生长;在真空中自然降温后得到所需薄膜。本发明利用脉冲激光沉积镀膜技术进行铁硒碲超导薄膜的生长,具有使用方便、镀膜速度快、可制备不同成分薄膜、更容易保持靶材与衬底成分一致等优点。
铜铟镓硒靶材连续溅射制备CIGS太阳电池吸收层的新工艺
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
摘要:本发明是新型低成本铜铟镓硒太阳电池吸收层的制备新工艺。使用不同组成的CIGS靶材进行连续溅射制备出CIGS太阳电池吸收层,通过溅射(In,Ga)Se或(In,Ga)2Se3靶材和多元共蒸发In、Se金属,调整CIGS太阳电池吸收层的组成,得到p+-CuGaSe2和p-Cu(In,Ga)Se2薄膜。该工艺能明显地降低CIGS太阳电池制造成本,还能提高CIGS太阳电池光电转换效率和CIGS太阳电池的良品率。本工艺具有低成本、高稳定性,能够制造出较高光电转换效率CIGS太阳电池,具有比较好的开发价值。
具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法
成熟度:正在研发
技术类型:发明
应用行业:制造业
技术简介
本发明公开了一种具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法高温烧制获得微米级粉体,加入纳米级粉体、碎颗粒、氢氧化物浆料中的一种或者多种混合,再加入粘接剂压制成型,高温烧结后得到蒸镀靶材。 本发明通过构建具有三维骨架网络的结构,实现对低密度蒸发材料的结构强化,所制备的氧化锌蒸镀材料具有较高的强度,抗热冲击性能好,彻底解决高能电子束轰击时开裂的问题。
AZO 3852长 旋转靶 量产生产技术
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
已实现工业化量产AZO 3852长度旋转靶材。1. 靶材密度5.4g/cm3。 2. 小尺寸样品密度5.5 g/cm3。 3. 小尺寸样品电导率小于0.0004Ωcm。 4. 每一节长度320mm。总投资约340万元(不包括流动资金),每月可生产靶材30条,售价约300万元,利润约为120万元。
旋转镀膜铌靶材研究
成熟度:可规模生产
技术类型:-
应用行业:制造业
技术简介
该项目针对旋转镀膜铌靶材制备过程中的技术问题,开展了关键生产工艺研究。通过独特的锻造工艺实现了≤80μm均匀晶粒,通过斜轧穿孔工艺实现了旋转镀膜铌靶材的成型,通过加工的整体工艺研究,尤其是自行设计单刀头6支撑的工装,使旋转镀膜铌靶材制品的精度完全满足图纸要求,满足了国际市场的需求。项目实施期间获得发明专利2项。