成果
科易网>技术转让>技术列表>一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

专利(申请号):CN201510289680.8

专利类型:发明专利

技术成熟度:正在研发

所 在 地:福建厦门

最近更新:2018-09-17 10:01:17

行    业:仪器仪表-其他仪器仪表

价    格:

查看联系方式 立即评估该技术价值>>
一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法0
    项目简介
    查看技术详细文件>>

    本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,所述对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪,包括有激光源、微动阶梯型角反射镜、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜、分光镜组和微动平台,所述微动阶梯型角反射镜设置在所述微动平台上,所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束,还包括有反射测量光电探测器组,所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组,所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态,实现抗干扰的目的。

    交易保障

    猜您感兴趣的

    Copyright © 2007- 科易网 版权所有
    运营商:厦门科易网科技有限公司