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一种对比式抗干扰微动角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

专利(申请号):CN201510289679.5

专利类型:发明专利

技术成熟度:正在研发

所 在 地:福建厦门

最近更新:2018-09-17 10:01:17

行    业:仪器仪表-光学仪器

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一种对比式抗干扰微动角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法0
    项目简介
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    本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种对比式抗干扰微动角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,所述对比式抗干扰微动角反射镜激光干涉仪,包括有激光源、微动角反射镜、干涉测量光电探测器、移动角反射镜、分光镜组和微动平台,所述微动角反射镜设置在所述微动平台上,还包括有反射测量光电探测器,激光束经所述移动角反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束,所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,由于反射测量光电探测器可以测量移动角反射镜反射激光束的强度,根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态,如此实现抗环境干扰的目的。

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