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CMP纳米抛光液生产技术转让

技术类型:非专利

技术成熟度:可规模生产

转让方式:技术转让、技术许可、技术入股

同类技术:

合作案例:

交易价格:面议

应用领域:专用化学产品制造

技术领域:先进制造与自动化

成果概况
简介

     一 、项目技术简介:     

        CMP纳米抛光液( chemical mechanical polishing化学机械抛光,简称CMP)是平坦化精密加工工艺中超细固体研磨材料和辅助化学添加剂的混合物,CMP抛光液一般由提供研磨作用的超细溶胶粒子如纳米级SiO2﹑Al2O3粒子等和其它辅助作用的助剂组成。它广泛用于各类集成电路、半导体硅晶圆、蓝宝石、LED﹑金属加工行业及其他领域的抛光过程,用来辅助抛光、保护硅片等材料免受划伤,因此在国产芯片的发展历程中是离不开它的。

按产品类型将市场分为三类如下:

纳米SiO2抛光液﹑纳米氧化铝抛光液﹑其他类型纳米抛光液(氧化铈﹑氧化锆等)。目前SiO2抛光液在销量上占有优势地位,未来随着技术的发展和下游客户对抛光液细分要求的提升,抛光液无论在品种还是数量上将会有更大的发展潜力。

二 、纳米抛光液的核心创新点:

纳米抛光的原理:

CMP技术通过化学腐蚀和机械研磨综合发挥作用,它利用了磨损中的“软磨硬”原理,即用较软的材料来打磨较硬的抛光工件。施加一定压力和抛光浆料,使抛光工件相对于抛光垫作往复运动,借助于纳米粒子的研磨作用和氧化剂的腐蚀作用的结合,在被抛光的工件表面形成较高质量的光洁表面。从而避免了单纯化学抛光易造成的抛光速度慢、表面不平整、抛光一致性差和单纯机械抛光造成的表面损伤等缺点。

目前,CMP技术己经发展成以化学机械抛光机为主体,将在线检测、终点检测、清洗等工艺流程融于一体的系统技术,产生于集成电路向薄型化、平坦化、微细化、多层化工艺发展过程。同时也是晶圆向更大直径过渡,提高生产率,降低制造成本,衬底全局平坦化所必需的工艺技术。

化学机械抛光(CMP)技术是半导体晶片表面加工的关键技术之一 ,并用于集成电路制造过程的各阶段表面平整化 ,近年来得到广泛应用。在化学机械抛光过程中 ,抛光液与晶片之间发生化学反应 ,在晶片表面形成一层钝化膜 ,然后由抛光液中的磨料利用机械力将反应产物去除 ,所以抛光液对抛光效率和加工质量有着重要影响。

纳米抛光液根据不同的抛光要求可分为不同粒度(10~150 nm)的产品。根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。

纳米抛光液产品特点

1﹑高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅或二氧化铝粒子达到高速抛光的目的(可以生产10-150 nm);

2﹑粒度可控,根据不同需要,可生产10-150 nm不同粒度的产品;

3﹑高纯度(Cu含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的污染,高平坦度加工,利用SiO2的胶体粒子,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工。

三﹑纳米抛光液产品应用领域﹑市场现状及前景分析

纳米抛光液产品的应用领域:

1、 光通讯领域,配合公司专门为光纤连接器开发的抛光产品,能达到超精细抛光效果,抛光后连接器端面没有划伤和缺陷,3D指标和反射衰减指标达到国际标准。

2、 硬盘基片的抛光,SiO2磨料呈球形,具有粒度均匀、分散性好、平坦化效率高等优点。

3、 硅晶圆、蓝宝石等半导体及衬底材料的粗抛和精抛,具有抛光速率高,抛光后易清洗,表面粗糙度低,能够得到总厚偏差(TTV)极小的质量表面。

4、在集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光上,CMP技术应用最为广泛。目前,国际上普遍认为,器件特征尺寸小于0.35μm时,为了保证光刻影像传递的精确度和分辨率必须进行全局平面化,而CMP是现在几乎唯一可以满足全局平面化需求的技术。

5﹑其他领域的应用,如不锈钢、铝合金、钛合金、光学玻璃等领域,抛光后能达到良好的抛光效果。

纳米抛光液产品的市场现状及前景预测:

纳米抛光液用于晶圆前道生产工艺中的国内纳米抛光材料科技一直是空白。比如,用于晶圆表面的SiO2抛光液,SiO2浆料是整个配方成分的核心,它目前基本上处于国内市场被国外企业垄断中。半导体材料产业链的上游被国外企业掌控,决策权在国外公司,考虑问题很难从中国市场出发。目前商业化的抛光液配方处于完全保密状态 ,主要集中在几个国外大公司。随着集成电路的发展,它的负面影响会越来越大。国内的材料企业主导中低端产品的优势是对市场的反应速度快,服务也跟得上,但是缺少含金量的技术工艺。在中低端领域己基本国产化。国内厂商如上海新安纳、湖北海力天恒、湖南皓志、深圳市力合材料、无锡易洁工业介质等公司,占有重要地位。

四﹑纳米抛光液项目产业化技术经济效益简单分析

根据目前市场行情,CMP纳米抛光液市场有高中低几个档次的产品,品种不同生产成本/净利润也是不同的(抛光液粒径范围30-150nm):

1﹑低端产品的售价在30000-50000元/吨之间不等,生产成本在15000-20000元/吨之间不等,平均净利润约在15000-18000元/吨之间;

2﹑中端产品的售价在85000-120000元/吨之间不等,生产成本在30000-50000元/吨之间不等,平均净利润约在50000-60000元/吨之间;

3﹑高端产品的售价在180000-200000元/吨之间不等,生产成本在50000-80000元/吨之间不等,平均净利润约在90000-100000元/吨之间;

五﹑纳米抛光液项目产业化生产条件

1﹑厂房设备:需要生产车间500-800平方米,厂房及仓库看规模,水电齐备,电源380伏,总功率80-100千瓦。

2﹑设备及投资:合成釜﹑净化过滤机﹑高纯水机等主要设备投资约40-50万左右,流动资金看市场销售量;

3﹑生产工人和工艺管理人员:一班需3-5人,可日纳米抛光液5-10吨,管理人员大专以上文化程度,工人文化程度不限;

六﹑纳米抛光液项目环保评估分析

纳米抛光液生产用的原材料都是无毒的常见化工原料,即硅和铝的氧化物溶胶和一些其他的助剂。生产过程无废气、废渣排放,生产过程产生的少量废水经过环保处理达标排放,可以基本达到低排放,从而减少环境污染。

七、技术转让产品品种、流程及合作方式

可供转让的纳米抛光液系列产品:

1﹑纳米二氧化硅抛光液系列产品;

2、纳米二氧化铝抛光液系列产品;

技术转让流程:

1﹑一次性技术转让,签订技术转让合同;

2﹑提供全套生产设备的工艺流程图,设备安装图,设备清单和原料生产厂家、施工规范,生产工艺、生产设备及原料采购表等,并协助生产设备的制造安装,提供相应的技术服务;

3﹑提供详细的生产工艺技术及配方,负责生产操作工艺技术的培训,指导生产工人试生产,直到生产出合格产品。可派工程师上门技术服务,指导生产出合格产品。该技术保证受让企业优先享有后续系列产品开发应用技术、生产工艺革新等成果。

八、结语:

近年来,随着半导体行业﹑光电行业﹑金属加工行业﹑硬盘产业﹑面板显示器产业CMP纳米抛光液应用领域的蓬勃发展,CMP应用领域不断增加,需求量增大。因此,CMP纳米抛光液实现规模工业化生产具有重要意义,也是未来抛光液行业发展的关键和趋势,有比较好的市场发展前景。

尽管CMP纳米抛光液行业的市场竞争激烈,但是由于巨大的市场需求,对CMP纳米抛光液行业的发展起到很大的推动作用,未来会有更多的新投资进入该领域。客观的说,同时也应该看到,CMP纳米抛光液行业存在着比较强的渠道、技术以及资本壁垒,对有意向进入企业的资金实力和技术实力都可能是一个挑战。我们建议有意向进入的企业,前期需进行深入的市场调研﹑谨慎的可行性论证,审慎投资。

企业数字化转型一体化解决方案
企业数字化转型一体化解决方案: 1)数据资产管理平台:具备多数据源的集成能力;数据的抽取、转换、落地能力;具备数据加工处理能力,并可定制化数据加工组件;具备数据资产目录、数据质量、数据血缘等数据管理能力。全平台一体化解决当前企业数字化转型中遇到的数据集成、数据交换,数据治理,数据资产管理等问题。 2)管理系统低代码生成平台:通过拖拉拽的方式快速生成PC以及手机端页面,数据接口,数据库表内容等技术体系;通过拖拉拽快速生成填报、审批流程、权限控制等业务模块的能力。可以在面对企业管理、OA系统、MES系统等定制化项目时快速、低成本的进行系统生成。并可将场景应用经验在平台上进行沉淀。 3)数据可视化平台:具备多种系统数据的集成能力;通过平台内置的可视化编辑集成开发环境,可将数据输出成图表,将多层级图表进行编辑生成画面;通过序列编辑器达成可视化画面的播放,多端控制能力;具备可视化操作系统的能力,将多种类型的web应用,3D应用在平台上进行统一集成。通过上述产品帮助客户构建参观汇报、运行监控、数据分析以及高端会议等场景的解决方案。
领域:网络应用技术
复合导电纤维技术方案
项目团队提出的复合导电纤维电缆,以低廉的玄武岩无机纤维为原材料,制备出的一种新型的导线,是一种基础材料,有非常大的应用前景,可应用于国计民生的方方面面。包括5G基站的线缆、高压输电线、民用建筑用导电,柔性可穿戴设备、音频信号线,船用航空航天等多领域 。 新型复合导电纤维电缆 以高强度无机长纤维为原料,镀上金属层,使其变成电良导体,以此线芯制成新型导电纤维电缆,可以代替金属导线在高低压供电领域使用。由于纤维基材的高强度,该导电纤维电缆具有优异的抗疲劳、抗折弯、可广泛应用于高压/特高压、以及各种特种电缆领域。在价格上具有绝对优势,不到同类产品的40%。 项目计划建立复合导电纤维线缆研发生产、中试基地;设计、制造导线纤维专用设备,包括2条全自动的纤维金属化生产线,实现全过程的自动放丝、预处理、表面金属化、线缆烘干和缠绕。
领域:纳米及粉末冶金新材料制备技术
多点式高灵敏度水浸传感器的研发和产业化
随着物联网发展和方案的成熟,水浸传感器渐渐成为各种行业解决方案中不可或缺的元素,水浸传感器是一种简易的液体泄漏监测装置,可以监测到漏水的瞬间,并及时报警。 它可以有效替代人工巡查,对所有有雨水渗漏、水管等水源的区域进行漏水监测,可以实时监测和预警漏水隐患。 我们开发的智能水浸传感器产品是专门针对通讯基站、数据机房、宾馆饭店、仓库、城市供水、电缆井口、高楼水池等场所的水浸监测而设计的, 它的监测点分成单触头检测和三点同步独立检测,配合智能水位监测平台进行及时告警。 智能水位监测平台就是将安装在多个区域的水浸产品通过网络传输实现集中维护的工具平台,它具有响应快、功能强、可集中、使用方便等优点。
领域:敏感元器件与传感器
装配式隐形厨卫
装配式隐形厨卫-用时打开,不用时隐藏的卫生间和厨房,包括折叠墙壁式和窗帘式,以及墙壁和窗帘结合式;里面有蹲坐两用折叠马桶,多功能折叠浴缸,折叠洗漱池,可升降折叠洗漱台,保暖装置,防漏装置,除味装置等等,没有气味,绝对不会漏水。 适用于集成房,工地用板房(解决临时住房的厨卫问题),钢结构住宅,小户型,单身公寓(解决空间狭窄的家庭的厨卫问题),出租房,房车(移动载体的厨卫问题),不占地方(折叠后面积为零)大小定制,不用模具,且生产速度快,价格实惠,(售价500-2000元,具体看配置,毛利50%左右),使用方便,重量轻(5-25公斤),整套打包后体积也小,物流费用便宜,可以快速拆装,且可以重复安装使用,经久耐用,体验度好。 整条产业链对环境友好,可以回收,可以自动降解,没有任何污染。 有30个专利(15个发明专利,15个实用新型专利)。授权了23个专利(8个发明专利,15个实用新型专利),另外还有8份著作权。
领域:建筑物
水环境智能监测监控机器人及大数据数字孪生平台
产品介绍:自主研发特种机器人产品,支持太阳能、风能直供电,自组网军工级宽带通信加密,7类AloT传感器人工智能控制域芯片(水文,水情,水质检测,降水,-氧化碳,二氧化碳,二氧化硫),高性能边缘计算算法,实现有效高清视频流传输。 适用行业:目前应用在水利水务,反恐维稳,矿山交通,海防河道,智慧校园,智慧园区,智慧旅游,城市大脑、海岸海岛、国际维和、一带一路。
领域:机器人
宽禁带半导体产业化
公司定位于技术水平领先的宽禁带半导体(第三代半导体)衬底材料生产商,聚焦于SiC衬底的研发、生产和销售,处于产业的上游材料端。目前公司可以较高成功率稳定产出6英寸SiC单晶晶圆,未来该技术发展方向为大尺寸SiC单晶制备生产批量成熟技术和前沿半导体技术。 主要产品为碳化硅晶片,碳化硅衬底是第三代半导体材料中氮化镓、碳化硅应用的基石。 核心技术优势:碳化硅晶体生长工艺,我们用仿真模拟来指导碳化硅晶体生长工艺的制备,这是第三代半导体的核心部分,也为第三代氮化镓和第四代半导体材料外延提供优质的衬底材料。我司创新性地开展了“气相-固相”的长晶动力学和晶体缺陷生成的机理研究,这是第三代半导体研究的无人区。我们在基础理论研究领域进行深耕,去解决晶体生长时的位错、微管密度等缺陷问题。 产品优势:我司晶圆的品质较高,处于国内一流水平,例如,微管每平方厘米2个。 且将来通过国际合作,我们的品质可有大幅度提升,达到国际领先水平。 产品技术:目前可以稳定工艺较高良率生产6寸sic晶体;7天大约100小时长晶20mm。 产业链优势:我司具备全套的设备图纸,长晶工艺,成熟的SiC粉料制成工艺和整套的SiC晶圆的冷切割及抛磨技术。我司以高品质的产品性能为优势,同时建立粉末加工、设备制造、石墨、切磨抛工艺等产业链相关子公司,推动产品成本持续优化,品质不断提升,从而完善从“设备研制—原料合成—晶体生长—晶体切割—晶片加工—清洗检测”的全流程关键技术和工艺,打通第三代半导体材料上游端的整个产业链。
领域:大功率半导体器件
医院等级保护解决方案
本公司遵循纵深防御、安全互补、强度一致、统一支撑和集中管理的思路,严格遵照国家及医疗行业相关要求,为医院网络建立满足等级保护三级要求的安全保障体系。首先,将医院信息网络及诊疗系统作为安全保护对象,为医院网络建设“一个中心,三重防护”的纵深防御技术体系;其次,结合安全管理体系与安全运维体系,落实安全管理和安全技术两大维度的具体实施与维护;最后,以诊疗系统的安全运营为信息安全保障建设的核心,并辅以安全服务贯穿信息安全保障体系的全过程,实现网络安全风险可控。
行业:互联网和相关服务,互联网安全服务
研磨车间单件流少人化改造
针对车间的制程做价值流分析,根据每个工站的生产节拍计算产能平衡。将机群式布局重新设计为流程式布局,走单件流。从而减少在制品库存、减少搬运人工、缩短交期。
行业:商务服务业,综合管理服务
钢铁转炉操作优化解决方案
通过人工智能机器学习的技术,找寻出最佳的钢铁料消耗与渣料消耗的消耗产出比,实现钢铁料消耗的降低。
行业:软件和信息技术服务业,软件开发
智慧景区旅游服务平台
本项目从景区真实需求出发,用信息化手段解决景区管理和服务游客的难题。产品可满足不同环节的智慧旅游服务、管理、营销等多个方面信息化需求,并可根据景区实际需求进行任意模块的选配、组合,所有二级业务子系统在三大基础平台的支撑下通过应急指挥调度平台和综合管控平台进行数据集成、信息共享,从而打造智慧景区,共同推进景区的智能化管理想智慧管理迈进。
行业:软件和信息技术服务业,数字内容服务
智慧热能应用云
智慧热能应用云解决方案,通过采集烘烤生产设备全局生产数据,加密传输到云端服务器,建立烘烤生产数字挛生模型,人工智能在线寻找优化生产参数,给客户带来安全生产、节能降耗、环保排放和品质提升的综合效益。
行业:软件和信息技术服务业,软件开发
信息化解决方案
DNC设备物联的应用:使设备通讯管理网络化,取代了现有常采用的单机点对点数控程序的传递和手动输入程序的低效率。DNC系统解决方案为企业搭建车间设备联网管理平台,将设备统一联网管理,大大缩短设备的程序准备时间和传输时间,实现高效准确的程序传输,帮助设备发挥最大价值。
行业:其他制造业,其他未列明制造业
找山楂核仁油技术开发服务商
找山楂核仁油技术开发服务商
山楂核仁油是一种非常受欢迎的食用油,其主要成分是山楂核仁。山楂核仁具有浓郁的香气和味道,被广泛用于烹饪和药用。本文将从定义、应用场景、技术现状和未来发展前景等方面对山楂核仁油进行探讨。一、定义山楂核仁油是从山楂果实中提取的油脂。山楂果实是一种常见的水果,通常在秋天成熟。山楂核仁油是从山楂果实中采摘的坚果壳(即山楂核)中提取的油脂。这些坚果壳包含着山楂核仁和油脂。山楂核仁油因其浓郁的香气和味道,以及丰富的营养成分,越来越受到人们的喜爱。
关键词:仁油,核仁,香气,山楂核
抗三专利申请
抗三专利申请
“抗三”是一种系统性的思考方式,通过分析复杂系统中的三个主要层面:个体、组织和环境,来理解系统的行为和确定应对策略。它通过三个相互关联的维度来分析系统:1. 内部维度:包括个体之间的相互作用和组织内部的运作方式;\n2. 组件维度:包括组织中的各个组件,如人员、流程、技术等;\n3. 环境维度:包括组织所处的环境,包括市场、政策、技术等。应用场景:在现代社会,组织面临着越来越多的复杂多变的挑战,如市场变化、技术革新、政策调整等。这些挑战不仅给组织带来了风险,也提出了新的要求。因此,抗三思考方式在组织应对这些挑战时具有重要的应用价值。首先,在市场变化方面,抗三思考可以帮助组织更好地理解市场的变化趋势,预测未来的市场环境,并制定相应的战略和计划。其次,在技术革新方面,抗三思考可以帮助组织更好地了解技术的发展趋势,预测未来的技术应用场景,并制定相应的技术战略。
关键词:组织内部,分析系统,系统性,复杂系统
食用菌功能饮料发展现状
食用菌功能饮料发展现状
食用菌功能饮料是一种以食用菌为原料生产的具有保健功能的饮料。在定义中,食用菌功能饮料是指以食用菌为原料生产的具有保健功效的饮料,包括不同类型的食用菌,如香菇、木耳、银耳等。在应用场景方面,食用菌功能饮料的应用场景非常广泛。除了传统的饮食场景外,它还可以在运动、疲惫、压力等场景下使用。食用菌功能饮料具有丰富的营养成分和保健功效,能够满足人们不同场景下的需求。
关键词:保健功能,保健功效,功能饮料,原料生产
果醋发酵产学研合作资源
果醋发酵产学研合作资源
果醋发酵技术是一种利用微生物发酵技术生产果醋的方法,旨在提高果醋的营养价值和口感。在果醋发酵过程中,利用醋酸菌、酵母菌等微生物对苹果、葡萄等水果进行发酵,生产出具有独特口感和健康营养的果醋产品。果醋发酵的应用场景非常广泛。首先,果醋作为一种调味品,可以用于烹饪、调味、蘸酱等方面。果醋的酸味可以中和碱性食物,增加口感,同时也具有降脂、减肥等健康作用。其次,果醋还具有一定的药用价值。果醋中含有的醋酸、葡萄糖、氨基酸等成分具有一定的抗菌、抗炎、降血脂等作用,可以用于治疗口腔溃疡、便秘等疾病。果醋发酵技术的发展与其应用场景密切相关。随着人们生活水平的提高和健康意识的增强,果醋作为一种健康、美味的食品越来越受到人们的欢迎。
关键词:果醋发酵,醋酸菌,酵母菌,微生物发酵技术
健康养殖技术技术哪里有?
健康养殖技术技术哪里有?
健康养殖技术是一种以保障动物健康为核心,通过科学养殖管理、预防和控制疾病、提高动物生产力和死亡率的技术。在当前社会,动物健康问题越来越受到人们的关注,健康养殖技术也成为了养殖行业不可或缺的一部分。定义:健康养殖技术是指利用科学的方法和手段,对动物进行养殖管理,以提高其生产力和死亡率,保证其健康和福利的一种技术。健康养殖技术需要综合考虑动物的生理、行为、心理等多方面因素,通过科学的饲养管理、环境控制、疾病预防和控制等措施,保证动物的健康和福利。
关键词:健康养殖技术,环境控制,综合考虑,饲养管理
找啤酒饮料技术开发服务商
找啤酒饮料技术开发服务商
啤酒饮料是指以啤酒为主要原料,通过一定工艺处理后,制成的饮料。啤酒的定义是以谷物、水和小麦等为主要原料,经酵母发酵作用,产生一种具有二氧化碳气体的发酵饮料。啤酒饮料不仅具有丰富的文化内涵,更是人们日常生活中不可或缺的饮品。应用场景:啤酒饮料的应用场景广泛,既可以在聚会、娱乐活动、体育赛事等场合下作为饮品,也可以在休闲、商务、旅行等场合下作为消遣饮品。啤酒饮料具有口感醇厚、清爽、口感丰富等特点,因此受到广大消费者的喜爱。
关键词:酵母发酵,啤酒,二氧化碳气体,啤酒饮料
深度处理工艺是什么?
深度处理工艺是什么?
深度处理工艺是一种利用神经网络等机器学习算法对数据进行高级分析和处理的技术。它的应用场景非常广泛,包括图像识别、语音识别、自然语言处理、推荐系统等各个领域。深度处理工艺的核心是神经网络。神经网络是一种由大量神经元组成的计算模型,可以通过学习自适应地改变连接权值,从而实现对数据的分析和处理。深度学习算法利用神经网络来提取数据中的特征,并对其进行分类、预测等任务。深度处理工艺已经在各个领域得到了广泛应用。例如,在图像识别领域,深度学习算法可以自动地识别出图像中的物体,并给出相应的答案。在语音识别领域,深度学习算法可以自动地识别出说话人的语音内容,并将其转化为文本形式。在自然语言处理领域,深度学习算法可以自动地生成文章,并理解其中的含义。深度处理工艺的技术现状非常发达。
关键词:机器学习算法,深度处理工艺,神经网络,语音识别
平衡架科研进展
平衡架科研进展
平衡架是一种用于固定和支撑设备、机器或工具的架子,其主要特点是具有稳定性和平衡感。在我国,平衡架又被称为随车架,主要用于起重机、电梯、桥梁、汽车等设备上。本文将从定义、应用场景、技术现状、未来发展前景四个方面对平衡架进行介绍。一、定义平衡架是一种用于固定和支撑设备、机器或工具的架子,其主要特点是具有稳定性和平衡感。它通常由轻质材料制成,具有良好的耐腐蚀性、耐高温性、耐磨性等特性。平衡架在工业、民用、运输等领域具有广泛的应用。
关键词:平衡感,架子,平衡架
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常见技术问答

答:项目的成熟度随着时间推移可能发生变化,该项目当前具体的成熟度情况,建议您通过在线客服或者我们的全国客服热线400-649-1633进行咨询了解。

答:项目的合作方式多样,包括但不限于合作开发、专利许可、技术转让、技术入股等,具体合作形式可通过在线客服或者我们的全国客服热线400-649-1633对该项目进行咨询。

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