超声辅助型高灵敏度氧化物气体传感器

行业电子元件及电子专用材料制造

成熟度正在研发

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技术项目简介

                           一、 成果简介 氧化物气体传感器具有成本低、环境适应性好、寿命长、响应恢复快、易规模化制造 以及易微型化与集成化等优点,因此相关行业正尝试利用改进型的氧化物传感器实现高灵 敏度气体传感,以便在低浓度气体传感领域,降低传感器的价格、改善其环境适应性、延 长其使用寿命并拓展其应用范围。本技术中的超声辅助型氧化物气体传感器利用超声分子 操控技术大幅度提高氧化物气体传感器的敏感度。我们的样机测试表明:与传统的氧化物 气体传感器相比,超声辅助型氧化物气体传感器的敏感度一般要高一个数量级。本技术提 供了一种低成本的提升氧化物气体传感器灵敏度并大幅度降低其检测下限的有效方法。 二、 主要技术指标 1.把已商业化的氧化物气体传感器(如MQ-6)的敏感度提高一个数量级以上。 2.把已商业化的氧化物气体传感器(如MQ-6)的检测下限拓展到ppb级别。 3.超声辅助型高灵敏度氧化物气体传感器的功耗控制1.25W以下。 4.产品对VOCs、NOx、H2S、NH3和H2等各种还原性和氧化性气体均有效果。 5.产品集成过程不产生有毒有害物质,绿色环保。                        

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