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半导体晶片中埋入式电阻器的制作方法

技术类型:非专利

技术成熟度:-

转让方式:-

同类技术:

合作案例:

交易价格:面议

应用领域:超导、高效能电池等其它新材料制备与应用技术

技术领域:电子器件制造

成果概况
简介

本发明提供一种在半导体晶片中埋入式电阻器的制作方法,具体是在半导体晶片上形成导电凸点的工艺过程中埋入式电阻器的制作方法。

在工艺过程中增加一个要形成埋入式电阻器的区域中的多层导电层的顶层子金属层的刻蚀步骤,去除了顶层金属子层后的金属层的电阻率大于没有去除顶层金属子层的金属层的电阻率,由此在半导体晶片中形成电阻器,该电阻器在随后的工艺步骤中被钝化层覆盖,由此形成埋入式电阻器。

所制成的埋入式电阻器代替了安装到半导体器件封装印刷电路板上的终端电阻器。

提高了封装密度,保证了高速半导体器件的特性不受损坏。

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领域:机械基础件及制造技术
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领域:电子商务软件
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领域:车用发动机及其相关技术
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行业:科技推广和应用服务业,其他科技推广服务业
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行业:电力、热力生产和供应业,电力生产
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常见技术问答

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