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    液晶面板行业高洁净度Mask拆解包与清洁系统

    服务商: 厦门新松智能研究院有限公司
    类型: 设备
    类别: 工业物联网-数字车间
    来源: 自主研发
    技术水平: 国内领先
    知识产权:

    详细介绍

    液晶面板行业的设备自动化需要高洁净度、高可靠性以及非常及时的服务,自动化方案中所采用的产品也是行业特殊的产品形态,行业准入门槛非常高。2017年,新松公司以IC领域的深厚洁净技术和成熟重载6轴工业机器人技术为基础,打造了行业内首创的用于Class 10环境内Mask拆解包与清洁系统,应用于国内某知名面板厂商。本系统采用半导体洁净技术中如气流模拟分析、特殊油脂替换及其它洁净处理技术满足了行业高洁净要求,在抓取Mask系统上实现了透明物视觉识别、多传感器校验技术等来满足抓取高精度可靠性,在控制系统上实现了与面板行业的CIM系统无缝衔接,实现工厂内大数据管理需求,新松拆解包系统可以实现用气、用电、温度、Mask ID运行状态实时监控。

        本项目是以新松公司原有核心产品和核心技术为基础,以行业内需求为应用目标,快速打造的面板行业内首套Mask拆解包和清洗的通用解决方案。现已在行业内得到连续应用,可以广泛应用于诸多面板厂商,助力该行业的发展和技术突破。