图像反转

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应  用   行  业： 环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造

高新技术领域： 其他

关     键     词： 掩模版,掩模版做出,胶暗场

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图像反转专题介绍
图像反转是一种使用正胶和暗场掩模版做出岛区的工艺。在曝光小尺寸图形时，倾向于使用正胶。正胶适于使用暗场掩模版做孔洞。暗场掩模版大部分被铬覆盖，因为铬不会像玻璃一样易损，所以缺陷比抛光较少。然而，一些掩模版用来曝光岛区。而不是孔洞，比如金属层掩模版上是岛区图形。在曝光结束后，光刻胶里的图像与想要得到的图像是相反的，也就是说，如果抛光接着显影的话，会得到孔洞而不是岛区
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