新认定的省、市级孵化器给予100万元一次性奖励(省级与市级不重复奖励)，国家级孵化器补足至300万元。
专业孵化器内配套建设的公共技术服务平台购置公共设备，按照该平台购置设备金额的30%给予一次性补贴，单个专业孵化器累计补贴金额最高不超过300万元，不与科技计划重大平台项目和研发投入后补助重复补贴。
新建孵化器按照每平方米300元的标准给予一次性补贴，补贴金额最高500万元；改扩建孵化器按照每平方米200元的标准给予一次性补贴，补贴金额最高300万元。改扩建是指在已有基础、同一宗土地上，对原孵化器进行的扩充性建设或大规模改造（含装修）。