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找专利 >基于光刻等微纳制造工艺的植入式生物电极及其制备方法 | Implanted bioelectrode based on photoetching and other micro-nano manufacturing technologies and preparation method thereof
专利号:CN101829401A专利类型:发明专利光刻仪器
专利号:201380013882.9专利类型:发明专利台阶状氧化层Au/SiO2/Si纳米柱存储器件的制备方法
专利号:2013103832804专利类型:发明专利一种用于无掩模扫描光刻的大面积曝光方法
专利号:CN106647189B专利类型:发明专利一种基于光刻和电镀实现超精细封装引线的方法
专利号:CN108242433B专利类型:发明专利一种基于玻璃浆料的标准漏孔密封方法
专利号:CN109485012B专利类型:发明专利一种深紫外半导体发光二极管及其制备方法
专利号:CN106299050B专利类型:发明专利一种超分辨光刻的光生成器件
专利号:CN109116687B专利类型:发明专利一种气体传感器及其制备方法
专利号:CN109596572A专利类型:发明专利一种渐变光刻版图及其半导体表面制造方法
专利号:CN109814329B专利类型:发明专利
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