PECVD工艺的具体应用实例包括:在集成电路(IC)制造中,通过PECVD技术沉积氮化硅(SiNx)作为栅极绝缘层或钝化层;在薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)生产中,采用PECVD制备透明导电氧化物薄膜(如ITO);在太阳能光伏行业,使用PECVD技术沉积抗反射膜和氮化硅钝化层以提升太阳能电池的转换效率。
应用数据可视化技术,为平台运营方、科技管理部门提供平台运营情况的大数据看板。
[政府园区]
基于信息中介 —— 专项服务 —— 全程代理的发展路径,为技术经理人提供培训认证、备案管理、业务支撑等服务,为区域培养一支专业化程度高、服务能力强的技术经理人队伍。
[政府园区]
从技术成熟度、创新度、先进度、效益、研发团队等多维度构建科技成果评价体系,并将评价指标及权重计算方法通过评价系统,以报告的形式评价成果、项目技术可行性,为供、需、中介、平台各方提供各个场景的参考服务。
[政府园区]
促进高校、科研院所等的科技成果、技术能力向产业、企业进行转移转化与应用 服务对象:高等学校、科研院所、大型企业
[高校院所]
最高300万奖补,在企业技改项目、培育资助上能享受政策倾斜
[企业服务]
用于评价企业智能制造当前状态的工具、建立智能制造战略目标和实施规划的框架,描述了智能制造的核心要素、特征,以及等级演进的路径,为企业持续提升智能制造核心能力提供参考,为评价智能制造水平提供依据。
[企业服务]
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