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一种紧凑型感应耦合低温等离子体干法刻蚀系统

技术类型:非专利

技术成熟度:正在研发

转让方式:技术转让

同类技术:

合作案例:

交易价格:面议

应用领域:金属加工机械制造

技术领域:新材料

专利基本信息
专利名称 等离子体对III-V族化合物的干法刻蚀系统及刻蚀方法
专利状态 公开号 02115200.4
申请号 专利申请日期 2002-05-13
专利授权日期 专利权届满日
专利所属地 中国 专利类型 非专利
发明人 陈俊芳;吴先球;赵智昊;符斯列;赵文峰
权利人
专利摘要 本发明是紧凑感应耦合等离子体对干III-V族化合物的法刻蚀系统及刻蚀方法,属半导体生产设备及技术。该干法刻蚀系统由测量装置、射频RF偏置功率源、基片台、ICP耦合天线、磁控线圈、RF电源、反应室、底座、配气装置、真空装置共同连接装配构成,其相互位置及连接关系为:将测量装置的探针插入到反应室中,将反应室放置于底座中,将ICP耦合天线套在反应室上,磁控线圈放置于ICP耦合天线的外面,反应室与基片台相连接,ICP耦合天线通过电缆线与RF电源相连接,基片台通过电缆线与偏置功率源相连接,反应室与配气装置连通,反应室与真空装置连通。刻蚀方法包括(1)产生等离子体;(2)利用外加射频偏置功率或磁场对等离子体约束、引导轰击基片表面;(3)刻蚀气体组成及配比;(4)刻蚀工艺步骤及条件等。本发明克服和解决了现有技术的缺点和问题,能制作精细图形且不影响半导体性能及使用寿命、精度高、刻蚀速率高、选择性好、损伤小、成本低。
成果概况
简介

本发明的目的就是为了克服现有湿法刻蚀化合物半导体特别是Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体时所产生的精度差、刻蚀速率低、选择性差、对被刻蚀损伤大等的缺点而发明的一种能高速率、低损伤、高精度及具有良好选择性的亚微米级精细图形的刻蚀系统及方法,本发明是一种能刻蚀精细图形、不影响半导体性能、器件特性及使用寿命,并且精度高、刻蚀速率高、选择性好、损伤小的紧凑型感应耦合低温等离子体(ICP)干法刻蚀系统及刻蚀方法。主要对半导体化合物尤其是Ⅲ-Ⅴ族化合物的干法刻蚀。 本发明是一种紧凑型感应耦合低温等离子体(ICP)干法刻蚀系统及刻蚀方法,主要应用于Ⅲ-Ⅴ族化合物的刻蚀。属于半导体设备及技术,特别涉及刻蚀Ⅲ-Ⅴ族化合物的气体成分,配气及工艺过程。其主要由射频RF偏置功率源、基片台、ICP耦合天线、磁控线圈、反应室、配气装置等共同连接而成。其工作原理是射频RF通过感应天气耦合将反应室中气体离解成具有高活性的基因,这些高活性基团在偏置电源和磁场的约束下轰击待刻蚀基片表面,与基片上的待刻蚀物质发生表面物理化学反应,反应的合成物被真空装置抽走,达到干法刻蚀的目的。 技术及性能指标:待刻蚀Ⅲ-Ⅴ族化合物为InSb;刻蚀气体Cl2、H2、Ch4、BCl3、CCl4、PCl3、氟利昂24-CHClF2中的一种或几种混合气体;RF功率200~400W,RF偏置功率100~900W,磁场1×10-4~1T,反应室气压10-2~10-3Torr,气体流量2~6毫升/分钟,配气比0.1~0.9;刻蚀速率约100nm/min。

智能化生产线及机器视觉设备制造
公司依托十多年的RFID和物联网经验,提供优质的RFID读写设备、RFID标签、RFID技术服务和物联网解决方案。目前与重庆某公司合作开展智能化生产线及机器视觉设备制造。 智能化生产线:生产过程智能化,包括产线有协作机器人进行上下料和特定工序协作、人工智能机器人机器视觉定位引导、并将数字化和自动化的流水线和设备进行集成,形成一套智能化的生产线。 机器视觉定位引导:当收到电器控制信号后,通过工业相机拍照,经过视觉软件处理,获得模具的位置偏移,通过西门子电器控制设备将偏移值传给机器人,机器人随之根据该结果将工件精确的放置在指定模具上。 产品质量检测:利用视觉智能技术对智能化产线上的特定工序进行质量检测,包括粉、液灌装前的瓶口及外观检测、瓶盖检测、压盖检测、贴标检测、喷涂日期检测、标号检测、编码检测、装箱前药瓶外观观缺陷进行质量检测,包括:压损、外露、裂纹、划伤、尺寸、异物、缺料、凹陷、凸起、角度、毛刺、定位、漏工序等进行在线检测并分类。
领域:精确制造中的测控仪器仪表
“城市温度”-路口自适应交通信号灯
本产品是一个新型的智能交通信号灯。主要用于城市单路口或者封闭园区等场景下的智慧通行。其主要针对城市交通中的人车协同效率提升,以及城市交通中“老弱病残孕”等弱势群体的路口出行问题,通过人工智能、图像识别、智能控制等技术,为城市的边缘交通路口,打造一个充满科技和人文关怀的城市路口通行方式,是传统“按钮式”行人交通灯的科技升级。
领域:交通控制与管理技术
大幅提高油田采收率的超短半径水平井项目
超短半径双水平U型地热井技术,是通过超短半径水平井精准的随钻测量及轨迹控制能力,将相距数百米以上的两口或多口直井,在油层内精准对接,将原有的直井变为U型水平井,从一口井注入冷水,另一口井采出热水,只取热不取水,使地热能得到高效利用。 这项技术可使油田大量关停井所蕴含的地热资源得到高效利用,节约大量燃煤,节能减排,助力双碳目标的实现。
领域:资源勘查开采技术
国内领先的高端精密半导体清洗设备
公司研发了晶圆清洗机、光刻胶清洗机、钢网清洗机、治具/剧刀清洗机、在线/离线PCBA清洗机、吸嘴清洗机、在线BGA/CSP芯片清洗机、在线毛刷清洗机、PCB清洁机、硅料硅棒清洗机等多款产品,是主要从事半导体、光伏及新能源汽车等行业的高端智能制造高精密清洗设备技术开发、生产、销售为一体的高科技企业。经过十几年拓展,公司产品涵盖了整个半导体电子行业,国内外市场和服务网络进一步完善。拥有多项5G/新能源/半导体应用领域核心技术专利、高新技术企业\ 专精特新,公司职员65人,核心技术团队15人,其中博士/硕士2人,坚持以共享高效、精准、节能的科技产业技术经验,成就高附加价值的服务,以及创造客户利润为使命,引进先进且高质量的关键组件,导入工业4.0智能制造的技术观念,不断为追求高品质的工业智能制造设备而努力。
领域:机器人
新生态环保技术及新材料产业
公司是澳大利亚合资企业,是澳大利亚科学家及团队创立,拥有自主知识产权,国际发明专利,在美国,欧盟,中国,韩国,日本均注册专利并获得专利证书,为全球唯一一项将软木改性为硬木的高科技项目。2010 年进入中国,分别在扬州和山东设立工厂。 利用世界上富足的种植园软木或竹子及其他循环再生材料,获得无限供给的完美的高品质硬木,重组竹或其他新科技材料。是致力于环保事业的墨尔本大学科学家及团队 25 年潜心研究成果。 项目符合国家产业政策和城市发展规划,项目产品属于《产业结构调整指导目录》中农林业第 53 项:木质复合材料、竹质工程材料生产及综合利用。 市场情况和市场前景规划 :产品生产流程没有废气废水的排放,完全达到环保要求。产品经过 SGS 全方位检测,不含甲醛及任何有色金属,有机挥发物和多环芳烃测试均为 A+ 级,即欧盟儿童玩具级。森林环保 FSC100%证书。防白蚁和真菌的最高级别,密度可控(500-1400kg/m3),物理性能极限提高,水份永久在 5%之下,极其稳定。与千年生长的热带雨林中最昂贵的天然硬木相比,更具有稳定性、耐用性和高硬度的实木材料。同时克服了木材的弱性,使之阻燃防水及紫外线,成为室外建材及家具的首选材料,免维护。适用于乐器,家具、户外建筑材料,地热地板、室内外门窗、游艇船舶,汽车内饰,家装材料,工艺品等等。性和高硬度的实木材料。同时克服了木材的弱性,使之阻燃防水及紫外线,成为室外建材及家具的首选材料,免维护。适用于乐器,家具、户外建筑材料,地热地板、室内外门窗、游艇船舶,汽车内饰,家装材料,工艺品等等。
领域:环保及环境友好型材料技术
电子内窥镜解决方案
公司电子内窥镜解决方案,针对临床痛点的解决方案,包括以下产品: 1、呼吸麻醉:可视喉镜系列产品,应对新冠疫情的可视化气道管理解决方案; 2、泌尿外科:硬质电子经皮肾镜;MPCNL术式,新型李逊镜肾结石清除解决方案; 3、肝胆外科:硬质电子胆道镜;PTCSL术式,新型电子硬镜(王平镜)肝内胆管结石及微创保胆解决方案。
领域:医学影像诊断技术
风险探知系统方案
公司凭借20多年在网络安全领域的技术积累所研发的风险探知系统,能够帮助客户主动感知网络风险并防患于未然。本方案风险探知系统能够做到: 构建基础资产信息库、绘制网络空间底图、漏洞验证、风险预警监控
行业:软件和信息技术服务业,其他信息技术服务业
4U工控整机在轮胎制造行业的应用
高品质的工控设备在轮胎制造业中应用越来越广泛,4U工控机作为轮胎生产系统的数控核心,用作数据传输、参数设置、数据记录、数据显示、报警。这样减少了很多显示仪表及开关按钮,减少了故障点,增强了数据传输的精确度,提高了轮胎的质量,方便设备故障诊断及设备维修。同时,为工艺工程师提供了一些工艺数据和曲线,方便制造工艺的研究及调整。
行业:批发业,其他批发业
食品功能成分的提取与深加工技术
食品功能成分的提取与深加工技术从燕麦和畜禽加工废弃物中提取系列多肽产品,采用复合多糖酶法预处理开发出高效联产制备技术。采用胃蛋白酶法从畜禽加工废弃物中提取出的I 型和II 型胶原的纯度达到85%以上、提取率达到 55%以上,可以应用于食品、药品和化妆品中。
行业:食品制造业,其他食品制造
新材料工厂智能化改造
针对车间的制程做价值流分析,根据每个工站的生产节拍计算产能平衡。将机群式布局重新设计为流程式布局,通过增加少量半成品库存实现成品0库存,同时缩短交期。
行业:商务服务业,综合管理服务
移动互联网安全等级保护解决方案
本公司拥有多年企业级移动接入安全防护经验,针对用户移动办公安全的需求和问题有深刻理解和对应解决方案,希望能够凭借本公司深厚的安全经验和强大的综合移动接入安全解决方案配合客户将项目建设好 在具体的落地实践中,本公司移动安全经过多年的技术积累与产品迭代融合,本公司以帮助用户建设移动智能统一接入平台为目标,以模块即产品的个性化思维为产品理念,为用户提供全程细粒度的安全防护的移动安全综合解决方案。 在手机端以安全沙箱为门户入口,融合VPN/移动杀毒/CA证书/国密算法等,为移动终端提供全面安全防护。 在网络传输过程中,针对蜂窝网络,WIFI环境提供全程VPN加密传输与WIFI黑白名单保证移动业务传输安全。 在平台侧,分别针对移动设备安全,移动APP安全,尤其是移动业务安全提供全面安全防护,并最终将所有安全信息汇总到移动安全风险探知平台,提供终极综合安全手段。
行业:互联网和相关服务,互联网安全服务
设备智能连线方案
工业设备互联上云以及设备数据综合应用以赋能生产。设备联网管理,实时感知监控车间设备状况、了解全局生产、设备效益;透明化生产环节,打通制造信息流,优化生产排程;从设备数据角度赋能生产,附加效益增值。
行业:软件和信息技术服务业,信息系统集成和物联网技术服务
落球阀专利申请
落球阀专利申请
落球阀,即球阀,是一种常见的流体控制阀门,其工作原理是通过旋转球体来控制流体的通断。球阀的主要部件包括球体、阀座、阀杆和手柄。当手柄旋转时,阀杆带动球体旋转,从而改变阀体内的通道形状,实现流体的通断控制。球阀的阀座通常采用弹性材料制成,以确保阀门在关闭状态下具有良好的密封性能。当球体旋转到与阀座接触时,由于阀座的弹性,可以形成密封,防止流体泄漏。
关键词:模拟研究,休止角,玻璃球
硅砂加量是什么?
硅砂加量是什么?
硅砂的加量取决于具体的应用场景和要求。在建筑材料中,硅砂的加入可以使建筑材料更加牢固,防止裂纹出现,但具体加量需要根据建筑材料的种类、用途和性能要求来确定。在陶瓷制品中,硅砂的加入可以提高白度、减少干燥时间、减少裂纹,但同样需要根据陶瓷制品的具体种类和要求来确定加量。在玻璃制造中,硅砂是主要原料,其加量取决于所需的玻璃类型、质量和工艺要求。
关键词:水泥石,高温强度,硅砂,不同温度,油井水泥,硅砂加量
轮廓检测仪是什么?
轮廓检测仪是什么?
轮廓检测仪,也称为轮廓测量仪,是一种用于测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。它在机械加工、电机、汽车零部件、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业有着广泛的应用。轮廓检测仪的工作原理主要包括平行光原理、三角测量原理和图像处理原理。它使用平行光源来减少光线散射和折射对图像质量的影响,使得物体的轮廓更加清晰准确。通过建立一个由光线和相机组成的三角形,测量物体与光源和相机之间的角度和距离关系,从而计算出物体的三维坐标和轮廓。此外,轮廓检测仪还配备了高性能的图像传感器和图像处理器,用于捕捉图像并进行预处理、增强和分析。
关键词:检测仪,检测仪器,快速准确
传动理论的用途
传动理论的用途
传动理论是机械工程领域中的一个重要概念,主要研究如何将一个旋转的动力传递到另一个机械设备上。它涉及到动力传递和运动传递的原理、方式以及相关的计算。传动原理的应用直接关系到设备的效率、性能和可靠性。传动方式多种多样,包括直接传动、链传动、皮带传动、齿轮传动等。每种传动方式都有其特点和适用场景。例如,直接传动简单、紧凑,适用于驱动力较小的场合;链传动具有结构简单、承载能力较强的特点,在各种机械设备中广泛应用;带轮传动则常用于传输较大功率的工作机。
关键词:单联,等角,十字轴,开发研制,传动理论
洪水计算技术专家推荐
洪水计算技术专家推荐
洪水计算主要涉及到水利工程的防洪问题,包括下游地区的防洪和水工建筑物本身的安全防洪。这种计算是基于特定标准选择将来可能发生的一次洪水作为设计的依据,这样的洪水被称为设计洪水。设计洪水包括设计洪峰流量、设计洪量和设计洪水过程,这常被称为设计洪水三要素。
关键词:设计洪水,无资料地区,平原,白塔,洪水计算
定向离子刻蚀专利申请
定向离子刻蚀专利申请
新一代硅微通道板的主要性能。采用定向离子深度刻蚀技术在2和4硅片上刻蚀了四组不同直径的硅微通道板微孔阵列,分别采用PECVD技术和液体化学沉积两种方法制作了硅微通道板的连续打拿极,从而探索了研制新一代硅微通道板的途径。
关键词:刻蚀技术,微通道板,不同直径,微孔阵列
圆柱薄壳技术专家推荐
圆柱薄壳技术专家推荐
超空泡运动体的动力屈曲失稳具有隐蔽性、突发性和危险性,因而必须研究清楚运动体的失稳区域边界及失稳振幅.将超空泡运动体模拟成受轴向周期载荷作用的细长圆柱薄壳,给出非线性几何方程、物理方程和平衡方程,建立细长圆柱薄壳带有非线性项的动力屈曲微分方程组;
关键词:细长,超空泡,薄壳
观测系统参数技术发展前景?
观测系统参数技术发展前景?
观测系统参数是指用于描述观测系统性能和功能的各种技术指标。这些参数可以根据不同的观测领域和使用的设备而有所不同。在观测领域,常见的参数包括分辨率和信噪比。分辨率指的是观测系统能够分辨出的最小角度或距离,特别是在天文学中,它常用于衡量望远镜或射电望远镜的分辨率能力。信噪比则是信号与噪声的比值,用于衡量观测数据的质量。高信噪比意味着观测系统能有效地从噪声中分离出有用的信号。
关键词:观测系统,三维观测系统
官方社群
常见技术问答

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答:项目的合作方式多样,包括但不限于合作开发、专利许可、技术转让、技术入股等,具体合作形式可通过在线客服或者我们的全国客服热线400-649-1633对该项目进行咨询。

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答:我们是国内“互联网+技术转移”模式探索与实践的先行者,同时是“国家科技成果转化服务示范基地”、“国家技术转移示范机构”,致力于打造卓越的技术创新服务平台,并持续融合运用新技术、新模式,优化科技创新资源整合与配置,形成了“以技术转移为核心,面向企业、高校、科研院所、技术经纪人、技术转移机构、科技服务机构、行业协会、园区、政府等各类创新主体的服务与合作体系。